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申请/专利权人：中科威客科技(河南)有限公司

摘要：本发明提供一种氩离子体全方位抛光设备及其使用方法，包括壳体，壳体内设有氩离子体抛光头、上下夹持机构，前后夹持机构、清洗组件和干燥组件，壳体上设有抽真空器；壳体的内顶壁和内底壁分别固定设有能够沿上下方向延伸的伸缩套板；样品在调整的过程中，可以通过上下夹持机构上的夹持板和前后夹持机构上的夹紧板进行交替夹持样品，上下夹持机构通过夹持板将样品夹持时，可驱动第三驱动装置，使得带动夹持板转动，以带动样品沿上下方向轴线进行旋转，而前后夹持机构通过夹紧板进行夹持时，上下夹持机构脱离，之后再驱动第二驱动装置，使得带动样品沿前后方向轴线进行旋转，使得调整样品的抛光面，以达到样品全方位进行抛光的目的。

主权项：1.一种氩离子体全方位抛光设备，包括壳体（1），其特征是，所述壳体（1）内设有氩离子体抛光头（2）、上下夹持机构（3），前后夹持机构（4）、清洗组件（5）和干燥组件（6），所述壳体（1）上设有抽真空器；所述壳体（1）的内顶壁和内底壁分别固定设有能够沿上下方向延伸的伸缩套板（8），两个所述伸缩套板（8）将壳体（1）的内部从左到右分割成抛光腔（9）和处理腔（10）；所述氩离子体抛光头（2）和上下夹持机构（3）均设在抛光腔（9）内，且氩离子体抛光头（2）位于上下夹持机构（3）的左侧，所述清洗组件（5）设在处理腔（10）内，所述干燥组件（6）设在处理腔（10）的上侧；所述上下夹持机构（3）能够从上下两侧对样品进行夹持，所述上下夹持机构（3）上设有能够转动的夹持板（26），使夹持样品以上下方向为轴线进行旋转；所述前后夹持机构（4）能够从前后方向夹持样品，并前后夹持机构（4）能够在壳体（1）内从抛光腔（9）滑动至处理腔（10）内，使前后夹持机构（4）夹持样品移动至清洗组件（5）的上方，所述前后夹持机构（4）上设有能够转动的夹紧板（21），使夹持样品以前后方向为轴线进行旋转；所述前后夹持机构（4）和上下夹持机构（3）相互交替夹持，使得夹持板（26）和夹紧板（21）交替带动样品进行转动，以使样品实现不同方向的转动；所述前后夹持机构（4）夹持样品移动至清洗组件（5）的上方时，能够使样品落入清洗组件（5）内；所述干燥组件（6）上开设有与清洗组件（5）适配的贯穿孔（7），使清洗组件（5）能够载着样品升至干燥组件（6）内。

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