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单边主导向的气浮导轨 

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申请/专利权人:迈为技术(珠海)有限公司

摘要:本申请涉及一种单边主导向的气浮导轨,包括导轨组件和滑板组件,滑板组件包括第一支承件、第二支承件、第三支承件和第四支承件,第一支承件朝向导轨组件的侧面上设有第一出气口和第一抽气口,第四支承件朝向导轨组件的侧面上设有能沿水平方向移动的第二气浮垫;本申请的单边主导向的气浮导轨,通过使导轨组件可同时到来自第一出气口和第二出气口的推力以及第一抽气口和第二抽气口的吸力,避免导轨组件因只受推力而导致的较大形变,并通过第一气浮垫和第二气浮垫可辅助调整导轨组件气浮面的平行度和气膜厚度,以在保证导轨组件的导向精度的同时,使气浮导轨可在更换不同负载的情况下发挥最佳性能。

主权项:1.一种单边主导向的气浮导轨,其特征在于,包括:导轨组件;滑板组件,包括第一支承件、第二支承件、第三支承件和第四支承件,所述第一支承件和所述第二支承件沿垂直方向间隔设置,所述第三支承件和所述第四支承件沿水平方向间隔设置,且所述第一支承件、所述第二支承件、所述第三支承件和所述第四支承件配合围成安装通道,所述导轨组件通过所述安装通道与所述滑板组件滑动配合连接;其中,所述第一支承件朝向所述导轨组件的侧面上设有第一出气口和第一抽气口,所述第二支承件朝向所述导轨组件的侧面上设有能沿所述垂直方向移动的第一气浮垫;所述第一气浮垫包括第一气垫件和第一活塞件,所述第一活塞件设置在所述第二支承件上,所述第一气垫件朝向所述第二支承件的侧面上设有第一容纳腔,所述第一气垫件通过所述第一容纳腔套设在所述第一活塞件上,所述第一活塞件上设有第一气道,且所述第一气道通过所述第一容纳腔与所述第一气垫件上的第一通气孔连通;所述第三支承件朝向所述导轨组件的侧面上设有第二出气口和第二抽气口,所述第四支承件朝向所述导轨组件的侧面上设有能沿所述水平方向移动的第二气浮垫;所述第二气浮垫包括第二气垫件和第二活塞件,所述第二活塞件设置在所述第四支承件上,所述第二气垫件朝向所述第四支承件的侧面上设有第二容纳腔,所述第二气垫件通过所述第二容纳腔套设在所述第二活塞件上,所述第二活塞件上设有第二气道,且所述第二气道通过所述第二容纳腔与所述第二气垫件上的第二通气孔连通。

全文数据:

权利要求:

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