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申请/专利权人：海南大学

摘要：本发明公开了一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置及方法,制备装置包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵，其中数个气瓶通过管路与真空管式炉相连接，真空泵通过管路与真空管式炉的内腔相连通。其方法为：步骤一、截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片；步骤二、采用真空镀膜机进行薄膜制备；步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于真空管式炉中；步骤四、控制通气后炉内的总气压。有益效果：制备的掺杂型二氧化钛薄膜方法简单，薄膜成分和结构调控方便灵活，制备得到的薄膜表面质量高，涂层结合力好，具有光催化性能和抗菌性。

主权项：1.一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备方法，其使用包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵的制备设备，其中所述数个气瓶分别通过第一管路与真空管式炉相连接，真空泵通过第二管路与真空管式炉的内腔相连通，所述第一管路上依次装配有分别调节和计量每个气瓶出气量的调控阀门和流量计、混合各气瓶输出的气体的混气室、和压力表，其特征在于：所述制备方法包括：步骤一、首先将基底表面进行清洁处理，并截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片；步骤二、采用真空镀膜机进行纯钛膜制备，其包括：将截取的设定尺寸的钛丝或钛片置于镀膜机中的蒸发舟内，采用机械泵和分子泵使真空镀膜机腔室内压力达到3×10-3Pa以下，然后在此真空下制备纯钛膜；步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于所述真空管式炉中；步骤四、把真空管式炉抽取到1Pa以下后，经由所述第一管路向所述混气室中通入一种气体或多种气体，如果通入多种气体则形成混和气体，在通入每种气体时，调节所述第一管路上的调控阀门，改变多种气体的流量，从而调节所述混合气体中含待掺杂气体成分的比例；步骤五、将所述一种气体或混合气体通入真空管式炉中，其中，通过控制混气室和真空管式炉之间的调控阀门调整所述一种气体或混合气体的通入速率和或抽气速率，使所述真空管式炉上的压力表达到设定值从而控制炉内气压；步骤六、设定退火温度、保温时间和升温速度进行退火，从而制备形成掺杂型二氧化钛薄膜，其中，退火的退火温度范围为300-1700℃，退火的保温时间为0.1-5小时，升温速度为10℃min，退火过程中，被通入含掺杂元素的所述一种气体或混合气体作为反应气体，退火结束后真空管式炉进行冷却。

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