龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：绵阳炘皓新能源科技有限公司
摘要：本发明公开了一种提高TOPCon电池良率的清洗工艺、制备方法及TOPCon电池，涉及太阳能电池技术领域，将制备好PN结且背面抛光后的硅片以PVD或PECVD方式制作隧穿氧化层和背面掺杂多晶硅层并激活，然后使用氢氧化钠和过氧化氢的混合溶液进行湿法化学清洗，去除表面颗粒和有机杂质；接着使用氢氟酸溶液进行酸洗，去除氧化层；接着再次使用氢氧化钠和双氧水的混合溶液进行清洗，对表面沾污层进行刻蚀清洗；最后再次使用氢氟酸溶液，去除过氧化氢产生的新氧化物。使用该清洗工艺处理之后生产的TOPCon电池没有类似EL类型的扫帚印，提高了产品的质量和良品率。
主权项：1.一种提高TOPCon电池良率的清洗工艺，其特征在于，将制备好PN结且背面抛光后的硅片以PVD或PECVD方式制作隧穿氧化层和背面掺杂多晶硅层并激活，然后使用以下步骤进行清洗：步骤1：使用氢氧化钠和过氧化氢的混合溶液进行湿法化学清洗，去除表面颗粒和有机杂质；步骤2：使用氢氟酸溶液进行酸洗，去除氧化层；步骤3：再次使用氢氧化钠和双氧水的混合溶液进行清洗，对表面沾污层进行刻蚀清洗；步骤4：再次使用氢氟酸溶液，去除过氧化氢产生的新氧化物。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 绵阳炘皓新能源科技有限公司 一种提高TOPCon电池良率的清洗工艺、制备方法及TOPCon电池
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号