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申请/专利权人：四川东磁新能源科技有限公司
摘要：本申请提供了一种TOPCon电池的电阻校准结构及其制作方法。该TOPCon电池的电阻校准结构包括：衬底；扩散层，位于衬底上，衬底与扩散层的掺杂类型不同；多个重掺杂区域，间隔地位于扩散层中，且各重掺杂区域远离衬底的表面与扩散层远离衬底的表面平齐，重掺杂区域的掺杂浓度大于扩散层的掺杂浓度；氧化层，位于扩散层远离衬底的表面上，氧化层远离扩散层的表面具有多个测试标识区，测试标识区在衬底上的正投影一一对应地位于重掺杂区域在衬底上的正投影中。本申请解决了现有技术中TOPCon电池的电阻校准结构在校准过程中容易损坏，造成TOPCon电池的电阻测试设备的校准结果不准确的问题。
主权项：1.一种TOPCon电池的电阻校准结构，其特征在于，包括：衬底；扩散层，位于所述衬底上，所述衬底与所述扩散层的掺杂类型不同；多个重掺杂区域，间隔地位于所述扩散层中，且各所述重掺杂区域远离所述衬底的表面与所述扩散层远离所述衬底的表面平齐，所述重掺杂区域的掺杂浓度大于所述扩散层的掺杂浓度；氧化层，位于所述扩散层远离所述衬底的表面上，所述氧化层远离所述扩散层的表面具有多个测试标识区，所述测试标识区在所述衬底上的正投影一一对应地位于所述重掺杂区域在所述衬底上的正投影中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川东磁新能源科技有限公司 TOPCon电池的电阻校准结构及其制作方法
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