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申请/专利权人：上海交通大学内蒙古研究院
摘要：本发明提供了一种无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达。所述无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜，包括支撑衬底、固定框架、第一电极、第二电极、第一慢轴支撑梁、第二慢轴支撑梁、平衡框、电磁驱动线圈、第一快轴支撑梁、第二快轴支撑梁、反射镜面以及驱动永磁体；反射镜面的两端分别通过第一快轴支撑梁和第二快轴支撑梁与平衡框可转动连接，平衡框的两端分别通过第一慢轴支撑梁和第二慢轴支撑梁与固定框架可转动连接；电磁驱动线圈的两端分别与第一电极和第二电极连接；驱动永磁体安装在支撑衬底上。本发明消除两轴之间的机械串扰，并且避免了在反射镜面周围制造电磁驱动线圈，消除了镜面热变形的影响。
主权项：1.一种无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜，其特征在于，包括支撑衬底11、固定框架9、第一电极1、第二电极10、第一慢轴支撑梁2、第二慢轴支撑梁8、平衡框4、电磁驱动线圈3、第一快轴支撑梁5、第二快轴支撑梁7、反射镜面6以及驱动永磁体12；所述固定框架9、第一电极1以及第二电极10安装在所述支撑衬底11上；所述第一慢轴支撑梁2、第二慢轴支撑梁8、平衡框4均设置于所述固定框架9内；所述电磁驱动线圈3、第一快轴支撑梁5、第二快轴支撑梁7均位于所述平衡框4上；所述反射镜面6位于所述MEMS振镜中部；反射镜面6的两端分别通过第一快轴支撑梁5和第二快轴支撑梁7与平衡框4可转动连接，平衡框4的两端分别通过第一慢轴支撑梁2和第二慢轴支撑梁8与固定框架9可转动连接；电磁驱动线圈3的两端分别由第一慢轴支撑梁2和第二慢轴支撑梁8支撑，电磁驱动线圈3的两端分别与第一电极1和第二电极10可转动连接；所述驱动永磁体12安装在所述支撑衬底11上，且位于所述反射镜面6下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海交通大学内蒙古研究院 无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达
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