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申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
摘要：本发明涉及等离子体技术领域，公开了一种级联弧等离子体发生器，其包括依次连接的阴极结构、级联结构和阳极结构，在级联弧等离子体发生器工作时，待电离的工作气体经由进气通道进入电离腔中，在多个起弧针和阳极本体之间存在电位差，多个起弧针均击穿工作气体，工作气体发生电离，形成等离子体，并通过依次相连的电离腔、等离子体通道和阳极通道喷射到级联弧等离子体发生器的外部，进入外部装置中，与材料样品发生相互作用，多个起弧针相互平行且间隔设置，其针尖端部均位于同一平面，以形成面状等离子体源，可辐照大面积材料样品或者一次辐照多个材料样品，也可以改变多个所述起弧针的排列方式以适用于不同形状的材料样品，便于提高辐照效率。
主权项：1.一种级联弧等离子体发生器，其特征在于，包括按照等离子体喷射方向依次连接的阴极结构、级联结构和阳极结构；所述阴极结构包括阴极组件和阴极座，所述阴极组件包括起弧针座和多个起弧针，多个所述起弧针相互平行且间隔连接至所述起弧针座的一端；所述阴极座上开设有电离腔，所述电离腔沿等离子体喷射方向贯穿所述阴极座，所述起弧针座部分安设于所述电离腔中，以使得多个所述起弧针均位于所述电离腔内，且多个所述起弧针的针尖端部朝向所述级联结构设置，且多个所述起弧针的针尖端部均位于同一平面，所述平面与所述等离子体喷射方向垂直；所述阴极座上还开设有若干进气通道，所述进气通道用于将气体输送至所述电离腔中；所述阳极结构包括阳极本体，所述阳极本体中开设有贯穿其上下表面的阳极通道；所述级联结构包括多个级联片，多个所述级联片沿所述等离子体喷射方向依次堆叠，并设于所述阴极座和阳极本体之间；每个级联片均设有级联通道，所述级联通道沿所述等离子体喷射方向贯穿所述级联片，以使得多个所述级联片堆叠时，多个所述级联通道依次连通形成等离子体通道；所述电离腔、等离子体通道和阳极通道相对设置且依次连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院 一种级联弧等离子体发生器
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