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申请/专利权人：青岛科技大学
摘要：本发明公开了一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，涉及静压技术领域，包括：静压滑块和与之配合的导轨，所述静压滑块包括本体、压电陶瓷驱动器、静压油垫、薄膜、挡板和位移传感器。所述薄膜与导轨之间形成油垫间隙，可通过控制压电陶瓷驱动器实现对油垫间隙大小的主动控制。所述位移传感器位于本体内静压滑块与导轨配合处，以测量静压滑块与导轨的配合间隙，作为控制的反馈信号。本发明的有益效果是，实现对油垫间隙的实时控制，以适应导轨加工误差和外部载荷变化，显著提高滑块的运动精度。通过对薄膜和静压油垫采用压力油进行预压，起到抑制薄膜以及静压油垫冲击振动和减小工作油路压力脉动的作用，使静压滑块模块更加稳定可靠。
主权项：1.一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块，包括静压滑块1，其特征在于，还包括与静压滑块1配合的导轨2；所述静压滑块1包括本体11、压电陶瓷驱动器12、静压油垫13、薄膜14、挡板15和位移传感器16；所述本体11为中空式结构，其内设有工作腔，该工作腔内设置压电陶瓷驱动器12、静压油垫13和薄膜14；所述本体11内与所述导轨2配合侧开有矩形槽A117，所述薄膜14的四周通过胶接或焊接的方式固定在矩形槽A117内，所述静压油垫13下部与薄膜14之间通过胶接或焊接的方式固定连接；所述矩形槽A117内开有预压腔116，预压腔116的腔底与所述静压油垫13之间留有预压间隙11-13，以为所述静压油垫13的上下运动预留出运动空间；所述预压腔116内开有圆柱腔A115、所述静压油垫13上部开有圆柱腔B133，所述压电陶瓷驱动器12的一端设置在圆柱腔A115内，另一端设置在圆柱腔B133内；所述薄膜14与导轨2之间形成油垫间隙2-14，通过控制所述压电陶瓷驱动器12的伸长或缩短，可以实现对油垫间隙2-14大小的主动控制。
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权利要求：
百度查询： 青岛科技大学 一种用于静压导轨的主动控制油垫静压滑块模块
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