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真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备 

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申请/专利权人:苏州麦克斯韦真空科技有限公司

摘要:本实用新型提供一种真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备。依照本实用新型的真空泵,包括泵入口、泵出口和泵主外壳,泵主外壳形成工作腔室,真空泵叶片容纳于工作腔室中,在泵主外壳上靠近泵入口的位置,设置一个或多个吹扫装置接口和一个或多个吹扫气孔,所述吹扫装置接口用于与外部气体提供装置连接,所述吹扫装置接口和所述吹扫气孔连通,所述真空泵包括工作状态和吹扫状态,在工作状态,所述吹扫装置接口关闭,在吹扫状态,所述吹扫装置接口打开,压力气体通过吹扫气孔进入泵主外壳中并对泵主外壳中叶片及其工作腔室进行吹扫,随后气体通过泵出口排出。

主权项:1.一种真空泵,包括泵入口1、泵出口12和泵主外壳3,泵主外壳3形成工作腔室,真空泵叶片4容纳于工作腔室中,其特征在于:在泵主外壳3上靠近泵入口1的位置,设置一个或多个吹扫装置接口11和一个或多个吹扫气孔21,所述吹扫装置接口11用于与外部气体提供装置连接,所述吹扫装置接口11和所述吹扫气孔21连通,所述真空泵包括工作状态和吹扫状态,在工作状态,所述吹扫装置接口11关闭,在吹扫状态,所述吹扫装置接口11打开,压力气体通过吹扫气孔21进入泵主外壳3中并对泵主外壳3中叶片4及其工作腔室进行吹扫,随后气体通过泵出口12排出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州麦克斯韦真空科技有限公司 真空泵、用于真空泵的转接装置以及真空泵设备

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