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申请/专利权人：无锡金源半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种薄膜沉积设备用喷头，包括进气连接管和喷淋板，喷淋板顶部内侧开设有安装槽，所述安装槽内固定连接有中间匀气板，且中间匀气板开设有多个匀气孔，所述进气连接管底部固定连接有多个连接轴，且连接轴底部固定连接有同一个分散盘，所述安装槽顶部固定连接有上盖，上盖顶部与进气连接管固定连接，所述喷淋板底部开设有多个喷淋孔，所述上盖内嵌接有热电偶，所述上盖和中间匀气板之间形成有第一腔室，喷淋板和中间匀气板之间形成有第二腔室。本实用新型避免反应气体加热的不均匀性以及喷出气体的不均匀性，提高薄膜沉积的效果。
主权项：1.一种薄膜沉积设备用喷头，包括进气连接管1和喷淋板3，喷淋板3顶部内侧开设有安装槽5，其特征在于，所述安装槽5内固定连接有中间匀气板6，且中间匀气板6开设有多个匀气孔7，所述进气连接管1底部固定连接有多个连接轴8，且连接轴8底部固定连接有同一个分散盘9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡金源半导体科技有限公司 一种薄膜沉积设备用喷头
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