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申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本发明提供了一种压电MEMS发声单元及其制备方法，衬底上表面的每个周边区域有第一压电复合单元，衬底中间矩形区域有开槽缝隙，且形成的振膜结构的每个振膜边缘均被锚定，每相邻两个第一压电复合单元间有缝隙结构，通过设置开槽缝隙可以降低压电MEMS发声单元的振膜结构中各膜层由于工艺造成的内应力；采用柔性材料覆盖开槽缝隙，可以提高振膜结构的柔性，同时降低压电MEMS发声单元在低频时的声音泄露，提高振动幅度和发射声压级，通过采用密度低的柔性材料取代密度较大的硅振膜，降低了振膜结构的质量，柔性材料降低器件共振的品质因数Q，有利于改善声压级SPL频响曲线以及THD频响曲线，从而提升压电MEMS发声单元的音质。
主权项：1.一种压电MEMS发声单元，其特征在于，包括：衬底；在所述衬底的上表面的每个周边区域分别设置有第一压电复合单元；所述衬底的底部中心区域具有空腔，每个所述第一压电复合单元的至少一部分位于所述衬底的上部区域；所述上部区域为由所述空腔向所述衬底的上表面方向进行正投影所对应的区域；在所述上部区域的除每个所述第一压电复合单元的至少一部分之外的中间矩形区域，设置有开槽缝隙，所述开槽缝隙被覆盖有柔性材料，具有柔性材料的所述衬底的上部区域形成所述压电MEMS发声单元的振膜结构；所述振膜结构的每个振膜边缘均被锚定，每相邻两个周边区域的第一压电复合单元之间具有缝隙结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 压电MEMS发声单元及其制备方法
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