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申请/专利权人：沈阳工业大学

摘要：本发明提供一种对称自准直光学细分方法，涉及光栅位移测量的技术领域，相较于现有技术，本发明提供的对称自准直光学细分方法，通过细分机构提升入射端输入的光束的细分倍数，并将提升细分倍数后的光束传输至接收端，用于后期信号处理，其中，细分机构包括自准直反射镜镜和标尺栅片，标尺栅片与自准直反射镜相对设置；如此设置能够在有限空间内，其对称结构能提高所需光束的细分倍数；如果光束被衍射2N次，由此造成的频移为，则平面光栅组成的对称细分结构产成频移；若‑1级衍射效率满足光电探测器的最小接收信号，则光学细分可以达到4N倍。

主权项：1.一种对称自准直光学细分方法，其特征在于，包括入射端101、第一分束镜102、第一角度反射镜104和第二角度反射镜106、细分机构114和接收端，第一分束镜为非偏振分束器，用于分束入射端101入射光束，形成对称光路，细分机构114用于提升入射端101输入光束的细分倍数，并将提升细分倍数后的光束传输至接收端；细分机构包括第一自准直反射镜103、第二自准直反射镜105、第一标尺栅片107和第二标尺栅片108，第一、第二自准直反射镜和第一、第二标尺栅片相对设置；细分机构包括第一自准直反射镜103、第二自准直反射镜105、第一标尺栅片107和第二标尺栅片108，第一自准直反射镜103和第一标尺栅片107相对设置，第二自准直反射镜105和第二标尺栅片108相对设置；第一分束镜102用于将入射端101输入的光束分成两束对称传递光束，分别为第一传递光束和第二传递光束，第一传递光束与第一标尺栅片107栅线所形成的平面为衍射平面，第一标尺栅片107法线与第一标尺栅片107栅线所形成的平面为法向平面，衍射平面和法向平面的夹角为利特罗角，第一标尺栅片107法线与标尺栅片矢量形成的平面为垂直平面；其步骤在于：S10.入射端101发射光束，并通过第一分束镜102分成两束对称传递光束，分别为第一传递光束和第二传递光束，调节第一角度反射镜104，使第一传递光束以利特罗角度入射至第一标尺栅片107上，传递光束经第一标尺栅片107反射后，入射到第一自准直反射镜103；同理，调节第二角度反射镜106，使第二传递光束以利特罗角度入射至第二标尺栅片108上，传递光束经第二标尺栅片108反射后，入射到第二自准直反射镜105；S20.第一传递光束中衍射级次为-1的衍射光在衍射平面内，该-1级次衍射光被反射后入射到第一自准直反射镜103，并再次以利特罗角入射到第一标尺栅片107上，第一传递光束在第一标尺栅片107和第一自准直反射镜103之间往返反射，直至垂直入射到第一自准直反射镜103；同理，第二传递光束中衍射级次为-1的衍射光在衍射平面内，该-1级次衍射光被反射后入射到第二自准直反射镜105，并再次以利特罗角入射到第二标尺栅片108上，第二传递光束在第二标尺栅片108和第二自准直反射镜105之间往返反射，直至垂直入射到第二自准直反射镜105；S30.第一传递光束和第二传递光束从第一自准直反射镜103和第二自准直反射镜105射出后，原路返回，传递至接收端。

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百度查询： 沈阳工业大学 一种对称自准直光学细分方法