龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本发明提供了一种MEMS压电发声器及其制备方法，指定边缘位置对称设置第一压电复合层，指定区域有多个开槽结构，形成的振膜结构的第一振膜边缘为锚定边缘，在非锚定边缘有边缘开槽结构。通过设置开槽结构可降低振膜结构中各膜层由于工艺造成的内应力,采用柔性材料覆盖开槽结构，可以提高振膜结构的柔性，同时降低MEMS压电发声器在低频时的声音泄露，提高MEMS压电发声器的振动幅度和发射声压级，通过采用密度低的柔性材料取代密度较大的硅振膜，降低了振膜结构的质量，并且矩形桥式结构的振膜结构可以推出更多的空气量，柔性材料增加系统阻尼，有利于改善声压级SPL频响曲线以及THD频响曲线，从而提升MEMS压电发声器的音质。
主权项：1.一种MEMS压电发声器，其特征在于，包括：衬底，在所述衬底的上表面相对的一组指定边缘位置，对称设置有第一压电复合层；每个所述第一压电复合层均为矩形结构；所述衬底的底部中心区域具有空腔，每个所述第一压电复合层的至少一部分位于与所述空腔对应的所述衬底的上部区域；在所述上部区域，除每个所述第一压电复合层的至少一部分之外的指定区域设置有多个开槽结构，至少一部分所述开槽结构被覆盖有柔性材料，具有柔性材料的所述上部区域形成所述MEMS压电发声器的振膜结构；所述振膜结构为矩形桥式结构；所述振膜结构的第一振膜边缘为锚定边缘，除所述第一振膜边缘之外的其他振膜边缘为非锚定边缘；在每个所述非锚定边缘分别设置有边缘开槽结构，所述第一振膜边缘根据所述第一压电复合层在所述衬底上的相对位置确定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 MEMS压电发声器及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号