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申请/专利权人：厦门光莆电子股份有限公司
摘要：本发明提供了一种柔性高分子基材连续卷绕磁控溅射镀膜设备，涉及物理气相沉积镀膜技术领域，包括放卷室、收卷室以及真空镀膜室，所述真空镀膜室内设有磁控溅射镀膜机构、放卷缓冲机构以及收卷缓冲机构，所述缓冲机构至少包括一组固定辊和移动辊，所述放卷缓冲机构的移动辊被构造成在所述放卷室需要换料时，朝靠近固定辊的方向移动，以缩短所述移动辊与固定辊的距离，从而将绕设在所述移动辊与固定辊之间的储料传送至所述磁控溅射镀膜机构；所述收卷缓冲机构的移动辊被构造成在所述收卷室需要更换卷芯时，朝远离固定辊的方向移动，以增长所述移动辊与固定辊之间的距离，从而提升镀后基膜的容纳空间，实现不停机连续镀膜。
主权项：1.一种柔性高分子基材连续卷绕磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括放卷室、收卷室以及真空镀膜室，所述真空镀膜室内设有磁控溅射镀膜机构、放卷缓冲机构以及收卷缓冲机构，基材自所述放卷室进入所述放卷缓冲机构，经由所述磁控溅射镀膜机构镀膜后，通过所述收卷缓冲机构传输至所述收卷室内；所述缓冲机构至少包括一组固定辊和移动辊，所述放卷缓冲机构的移动辊被构造成在所述放卷室需要换料时，朝靠近固定辊的方向移动，以缩短所述移动辊与固定辊的距离，从而将绕设在所述移动辊与固定辊之间的储料传送至所述磁控溅射镀膜机构；所述收卷缓冲机构的移动辊被构造成在所述收卷室需要更换卷芯时，朝远离固定辊的方向移动，以增长所述移动辊与固定辊之间的距离，从而提升镀后基膜的容纳空间，实现连续镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门光莆电子股份有限公司 一种柔性高分子基材连续卷绕磁控溅射镀膜设备
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