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申请/专利权人：润马光能科技(金华)有限公司
摘要：本申请公开了一种具有选择性多晶硅层的光伏电池及其制备方法、光伏组件，涉及光伏电池技术领域；其中，包括以下步骤：对硅片进行制绒处理；在硅片的表面上依次沉积隧穿氧化层、第一非晶硅层和第二非晶硅层；进行高温扩散，使得第一非晶硅层和第二非晶硅层形成第一掺杂多晶硅层和第二掺杂多晶硅层；随后，将硅片置于硝酸溶液中，使得硅片表面上形成第一氧化层；再将硅片放置在臭氧气氛中，并采用第一激光对栅线区域进行扫描，使得栅线区域上形成第二氧化层；将硅片移出臭氧气氛，并采用第二激光对非栅线区域进行扫描；采用湿法碱处理去除硅片的非栅线区域的第二掺杂多晶硅层和第一氧化层；采用酸去除栅线区域的第一氧化层和第二氧化层。
主权项：1.一种制备具有选择性多晶硅层的光伏电池的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤101：选取硅片，并对所述硅片进行制绒处理；步骤102：在所述硅片的表面上依次沉积隧穿氧化层、第一非晶硅层、第二非晶硅层；步骤103：进行高温扩散，使得所述第一非晶硅层和所述第二非晶硅层形成第一掺杂多晶硅层和第二掺杂多晶硅层；步骤104：随后，将所述硅片置于硝酸溶液中，使得所述硅片表面上形成第一氧化层；步骤105：再将所述硅片放置在臭氧气氛中，并采用第一激光对栅线区域进行扫描，使得所述栅线区域上形成第二氧化层；步骤106：将所述硅片移出所述臭氧气氛，并采用第二激光对非所述栅线区域进行扫描；步骤107：采用湿法碱处理去除所述硅片的非所述栅线区域的所述第二掺杂多晶硅层和所述第一氧化层；采用酸去除所述栅线区域的所述第一氧化层和所述第二氧化层。
全文数据：
权利要求：
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