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申请/专利权人：曙光信息产业股份有限公司;中科曙光国家先进计算产业创新中心有限公司
摘要：本申请涉及一种用于固定样品的电镜检测治具及利用电镜检测样品的方法。用于固定样品的电镜检测治具包括底座、固定板和移动板，底座表面设置有多个沿第一方向排布的安装凹槽，底座设置有固定组件；两个固定板分别可拆卸安装在不同的安装凹槽内，移动板置于两个固定板之间，调节驱动件驱动移动板向另一个固定板远离或靠近。该用于固定样品的电镜检测治具样品固定，将样品的观测面朝上供电镜观察，以改善在观察样品时固定困难、观测及检测不方便等问题，可准确观察芯片IMC层形貌，是否存在因应力过大导致的断裂等等缺陷，且可检测其IMC层准确厚度，测量该厚度是否在合理范围之内，使得样品便于固定，检测更为方便快捷，成像清晰。
主权项：1.一种用于固定样品的电镜检测治具，其特征在于，包括：底座，所述底座表面设置有多个沿第一方向排布的安装凹槽，所述底座设置有固定组件，所述固定组件用于与电镜连接；固定板，所述固定板设置有至少两个，两个所述固定板分别可拆卸安装在不同的安装凹槽内；移动板，所述移动板置于两个所述固定板之间，所述移动板与一个所述固定板之间设置有调节驱动件，所述调节驱动件驱动所述移动板向另一个所述固定板远离或靠近。
全文数据：
权利要求：
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