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申请/专利权人：采钰科技股份有限公司
摘要：一种光学元件，包括基板210、基板210中的光感测装置220、基板210上方的第一厚膜层230，及覆盖第一厚膜层230的顶表面和侧壁的无机多层膜240。第一厚膜层230的热膨胀系数介于10ppm℃和300ppm℃之间，且第一厚膜层230的侧壁与基板210的顶表面之间的角度在10°至60°的范围中。无机多层膜240的热膨胀系数介于0.5ppm℃和30ppm℃之间。
主权项：1.一种光学元件，包括：一基板；一光感测装置，设置于该基板中；一第一厚膜层，设置于该基板上方，其中该第一厚膜层的一热膨胀系数介于10ppm℃和300ppm℃之间，且其中该第一厚膜层的一侧壁与该基板的一顶表面之间的一角度在10°至60°的范围中；及一无机多层膜，覆盖该第一厚膜层的一顶表面和该侧壁，其中该无机多层膜的一热膨胀系数介于0.5ppm℃和30ppm℃之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 采钰科技股份有限公司 具有厚膜层的光学元件
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