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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：本发明涉及等离子体发生装置技术领域，特别涉及一种极紫外光输出设备及方法。所述输出设备包括光源组件和箍缩装置，箍缩装置包括发射装置和电脉冲模块，发射装置开设有中空通道，中空通道界定与中空通道轴向排布的中间照射区以及分设于中间照射区两侧的第一照射区和发射区，第一照射区远离发射区一侧的外部空间设定为第二照射区；中空通道内用于容纳可电离介质，电脉冲模块对发射装置施加电流脉冲；光源组件用于生成脉冲激光，且脉冲激光聚焦在第二照射区、且至少部分脉冲激光通过第一照射区和到达中间照射区，以可电离介质完全电离形成等离子体，等离子体于脉冲激光和电流脉冲共同作用下输出极紫外光。解决了现有EUV辐射输出功率较低的技术问题。
主权项：1.一种极紫外光输出设备，其特征在于：包括光源组件和箍缩装置，所述箍缩装置包括发射装置和电脉冲模块，所述发射装置开设有中空通道，所述中空通道界定与中空通道轴向排布的中间照射区以及分设于中间照射区两侧的第一照射区和发射区，所述第一照射区远离所述发射区一侧的外部空间设定为第二照射区，所述第二照射区与第一照射区连通；所述中空通道内用于容纳用于生成极紫外光的可电离介质，所述电脉冲模块用于对发射装置施加电流脉冲；所述光源组件用于生成脉冲激光，且脉冲激光聚焦在第二照射区、且至少部分脉冲激光通过第一照射区和到达中间照射区，以将容纳在中空通道的所述可电离介质完全电离形成等离子体，所述等离子体于所述脉冲激光和所述电流脉冲共同作用下由发射区输出极紫外光。
全文数据：
权利要求：
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