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申请/专利权人：北京北方华创真空技术有限公司
摘要：本申请涉及一种蒸发室挡板机构，其包括底架、滑动连接在底架上的挡板结构以及驱动挡板结构平移打开的传动结构；底架包括安装支架以及安装在安装支架上的两个传动支撑板，两个传动支撑板之间形成供挡板结构平移滑动的移动平面；挡板结构包括滑动连接在两个传动支撑板之间的挡板本体以及安装在挡板本体上的冷却组件，挡板本体的内部加工有与冷却组件连通的冷却通道；传动结构包括驱动件、第一传动件和第二传动件，驱动件与第一传动件位于挡板本体的同侧且位于蒸发腔室的外部，第二传动件设置有两组并分别位于挡板本体的两侧，两组第二传动件通过穿设其中的传动轴实现传动。本申请具有减少挡板开合占用的空间，减少挡板打开时出现的卡顿现象的效果。
主权项：1.一种蒸发室挡板机构，其特征在于：包括底架1、滑动连接在所述底架1上的挡板结构2以及驱动所述挡板结构2平移打开的传动结构3；所述底架1用于固定在蒸发腔室01侧壁上，包括安装支架11以及安装在所述安装支架11上的两个传动支撑板12，两个传动支撑板12之间形成供所述挡板结构2平移滑动的移动平面；所述挡板结构2包括滑动连接在两个所述传动支撑板12之间的挡板本体21以及安装在所述挡板本体21上的冷却组件22，其中，所述挡板本体21的内部加工有与所述冷却组件22连通的冷却通道211；所述传动结构3包括驱动件31、第一传动件32以及第二传动件33，其中，所述驱动件31与所述第一传动件32位于所述挡板本体21的同侧且位于蒸发腔室01的外部，所述第二传动件33设置有两组并分别位于所述挡板本体21的两侧，两组所述第二传动件33通过穿设其中的传动轴实现传动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创真空技术有限公司 一种蒸发室挡板机构
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