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申请/专利权人：三星SDI株式会社;三星电子株式会社
摘要：提供了一种抗蚀剂顶涂层组合物和使用所述组合物形成图案的方法。抗蚀剂顶涂层组合物包含：共聚物，所述共聚物包括由化学式M‑1表示的第一结构单元和由化学式M‑2表示的第二结构单元；和溶剂。
主权项：1.一种抗蚀剂顶涂层组合物，包含共聚物，所述共聚物包括由化学式M-1表示的第一结构单元和由化学式M-2表示的第二结构单元；和溶剂： 在化学式M-1和M-2中，R1和R2各自独立地为氢或者取代或未取代的C1至C10烷基，L1和L2各自独立地为单键、取代或未取代的C1至C10亚烷基或它们的组合，X1是单键、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-C＝OO-、-OC＝O-、-OC＝OO-、-NR’-或它们的组合，R’是氢、氘或者取代或未取代的C1至C10烷基，R4是氢、氟、羟基、取代或未取代的C1至C20烷基或它们的组合，R5是氢或C＝OR7，R7是取代或未取代的C1至C10烷基，R4、L1和L2中的至少一个包含氟和羟基，每个R6独立地为氢、卤素、羟基、取代或未取代的C1至C10烷基或它们的组合，并且m1是1至4的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 三星SDI株式会社 三星电子株式会社 抗蚀剂顶涂层组合物和使用所述组合物形成图案的方法
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