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一种在低真空度下生产镀膜玻璃的方法及一种镀膜玻璃 

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申请/专利权人:信义节能玻璃(芜湖)有限公司

摘要:本发明公开了一种在低真空度下生产镀膜玻璃的方法及一种镀膜玻璃,在1.0×10‑5mbar的低真空度下进行磁控溅射镀膜;在进行第一银层的蒸镀时,控制25~35%体积百分比的银被氧化;通过在进行第一银层的磁控溅射镀膜时,控制第一银层发生部分氧化,这样能人为可控的生成少量AgO作为晶种,加快结晶膜的形成,提升初期成核密度,降低Ag的金属活性;这样在玻璃基片镀第二种子层时,第一银层不会和再和氧气发生反应而破坏金属银层功能,生产出性能优异的双银镀膜玻璃产品,相对于4.0×10‑6mbar以上的生产条件,大大节省了工艺时间、提升了生产效率,显著提高了经济效益。

主权项:1.一种在低真空度下生产镀膜玻璃的方法,其特征在于,在1.0×10-5mbar的低真空度下进行磁控溅射镀膜;在进行第一银层的磁控溅射镀膜时,控制25~35%体积百分比的银被氧化。

全文数据:

权利要求:

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