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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安欣芯材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种硅片盒配件更换设备，包括：拆卸装置，用于拆卸所述硅片盒上的配件；控制装置，用于控制所述拆卸组件自动拆卸所述硅片盒上的配件；回收装置，用于收纳被拆卸的配件。通过本发明提供的硅片盒配件更换设备，可以实现硅片盒配件的自动更换，提高更换效率，降低了更换难度。且本申请中的回收装置的设置，可以将拆卸下的配件进行单独存放，以免混用。
主权项：1.一种硅片盒配件更换设备，其特征在于，包括：拆卸装置，用于拆卸所述硅片盒上的配件；控制装置，用于控制所述拆卸装置自动拆卸所述硅片盒上的配件；回收装置，用于收纳被拆卸的配件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 西安欣芯材料科技有限公司 硅片盒配件更换设备
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