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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：一种获取剥离预测模型的方法及图形修正的方法，其中图形修正方法包括：获取待修正版图，包括初始主图形以及位于相邻初始主图形之间的初始辅助图形；对待修正版图进行修正，获取第一修正版图，第一修正版图包括与初始主图形对应的修正主图形以及位于修正主图形周围的修正辅助图形；获取各修正主图形的特征参数；获取剥离预测模型；采用剥离预测模型以修正主图形的特征参数获取修正主图形的剥离预测结果；当剥离预测结果为发生图形剥离时，以当前次第一修正版图作为待修正版图，且以当前次修正主图形作为初始主图形，并进行下一次修正；当剥离预测结果为不发生图形剥离时，以当前次第一修正版图作为掩膜图形，简化了剥离预测流程，降低了验证成本。
主权项：1.一种获取剥离预测模型的方法，其特征在于，包括：提供若干训练版图，所述训练版图包括若干训练主图形；获取各所述训练主图形的若干项特征参数S；采用所述训练版图进行图形化处理，获取与各所述训练主图形对应的训练图形结构；对若干所述训练图形结构进行检测，获取各所述训练图形结构对应的剥离结果Y；根据若干所述特征参数S以及对应的剥离结果Y，通过机器学习处理获取初始剥离预测模型F’；提供若干测试主图形；采用所述若干测试主图形对所述初始剥离预测模型F’进行训练，直至获取剥离预测模型F。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 获取剥离预测模型的方法及图形修正的方法
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