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申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种光伏硅片干燥设备，属于半导体生产设备技术领域。本申请光伏硅片干燥设备的工作台上被分为上料工位、干燥工位和下料工位，运输装置将挂篮在上料工位、干燥工位和下料工位之间运输。运输装置设置在工作台底部，与工作台上方相隔离，避免了运输装置对顶部的污染。同时，由于需要设置运输槽供支撑机构穿过而支撑挂篮运动，因此，需要设置封堵机构的遮挡带来对运输槽的下方进行封堵，降低干燥气体从运输槽处流出，降低热风损失量，提高干燥效果。
主权项：1.一种光伏硅片干燥设备，其特征在于，包括：工作台（10），所述工作台（10）上依次为上料工位（1）、干燥工位（2）和下料工位（3）；所述工作台（10）上开设有贯通上料工位（1）、干燥工位（2）和下料工位（3）位置的运输槽（11），上料工位（1）、干燥工位（2）和下料工位（3）处的工作台（10）上均设置有挂篮固定座（6），所述挂篮固定座（6）用于供挂篮（9）放置；运输装置（5），能够将挂篮（9）在上料工位（1）、干燥工位（2）和下料工位（3）之间运输；吹风装置（4），设置在所述干燥工位（2）处，所述吹风装置（4）用于向所述干燥工位（2）处提供干燥风；所述运输装置（5）包括：运输机构（51）、设置在工作台（10）下方的滑轨（52）、用于驱动运输机构（51）在滑轨（52）上运动的驱动件（53），以及用于封堵运输槽（11）的封堵机构，所述运输机构（51）穿过所述运输槽（11）并在顶部设置有用于承载挂篮（9）的运输台（511），所述运输台（511）位于工作台（10）上方，所述运输机构（51）还能够驱动运输台（511）升降以将运输台（511）上的挂篮（9）放置到挂篮固定座（6）上或者将挂篮（9）从挂篮固定座（6）上取下；所述封堵机构包括：位于上料工位（1）和干燥工位（2）的底部框架内部的带轮组件（54），能够在带轮组件（54）上运动的遮挡带（55），所述遮挡带（55）根据位于带轮组件（54）的上方和下方分别为上遮挡部（551）和下遮挡部（552），所述上遮挡部（551）能够与运输机构（51）共同运动并始终位于运输槽（11）的下方。
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权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种光伏硅片干燥设备
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