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申请/专利权人:三星显示有限公司
摘要:本申请涉及一种真空干燥器。该真空干燥器包括配置成提供内部空间的腔室、在内部空间中靠近腔室的底部的支承销、配置成向支承销供应电力的电源以及联接到腔室中的内部空间的泵。
主权项:1.真空干燥器,包括:腔室,配置成提供内部空间;支承销,在所述内部空间中靠近所述腔室的底部;电源,配置成向所述支承销供应电力以使所述支承销带电;以及泵,联接到所述腔室中的所述内部空间。
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