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申请/专利权人：派镀科技(深圳)有限公司
摘要：本发明公开了一种X射线荧光光谱仪，涉及膜厚检测技术领域，包括主机组件，所述主机组件包括有主机外壳，所述主机外壳的底部固定连接有支撑底板，所述主机外壳的顶部固定连接有固定顶板。该X射线荧光光谱仪，通过启动真空泵，使其产生吸力，此时调节调压阀门能够改变吸力的强弱，避免吸力过大对薄膜产品造成损坏，那么经过连通管将通气腔内部的气体都抽离，因此每个正吸气口和每个斜吸气口都具有吸力，由于薄膜产品平铺在检测板上，检测板表面的吸力会像吸盘一样将薄膜产品吸附住，其中正吸气口对薄膜产品产生的吸力是垂直向下的，而斜吸气口对薄膜产品产生的吸力是斜向外的，具有辅助舒展的功能。
主权项：1.一种X射线荧光光谱仪，包括主机组件（1），所述主机组件（1）包括有主机外壳（101），所述主机外壳（101）的底部固定连接有支撑底板（106），所述主机外壳（101）的顶部固定连接有固定顶板（105），所述固定顶板（105）的内壁固定连接有气定组件（5），所述气定组件（5）的顶部固定连接有压膜组件（4），其特征在于：所述气定组件（5）包括有检测板（503），所述检测板（503）的顶部中间处设置测试窗口（505），所述检测板（503）的内部开设有通气腔（508），所述通气腔（508）的内部顶面开设有多个斜吸气口（506）和正吸气口（507），且斜吸气口（506）内部的气流方向是倾斜的，所述通气腔（508）的内部底面开设有连通口，且连通口的底部固定连通有连通管（502），所述连通管（502）的外表面设置调压阀门（504），所述支撑底板（106）的顶部设置真空泵（501），所述真空泵（501）的进气端与连通管（502）的一端固定连通；所述压膜组件（4）包括有四个固定筒（401），且每个固定筒（401）分别安装在对应位置的正吸气口（507）上方，每个所述固定筒（401）的内壁均滑动连接有活塞（403），每个所述活塞（403）的顶部均固定连接有多个抽拉杆（404），多个所述抽拉杆（404）平均分为四组，每组所述抽拉杆（404）的一端之间均固定连接有加强板（405）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 派镀科技(深圳)有限公司 一种X射线荧光光谱仪
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