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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本发明属于超精密加工技术领域，尤其涉及一种隔振装置和加工设备。本发明的隔振装置，包括：柔性支撑组件、柔性铰链组件、阻尼组件和立柱，柔性支撑组件和立柱均设置在安装部件上，其中，负载部件设置在柔性支撑组件的顶部，柔性支撑组件构造为具有Z向刚度并且能够沿X向和Y向发生姿态变化；柔性铰链组件为支架结构，其分别与立柱和负载部件相连，部分与立柱相连，并且构造为能够在相互垂直的X向和Y向发生弹性形变；阻尼组件设置在立柱上并与负载部件相连，以消除负载部件的水平向的振动。本发明的隔振装置，提高了隔振性能，能够满足双向隔振需求，且无需外部动力，也无需引用控制系统，结构简单，在真空环境下和大气环境下均可以使用。
主权项：1.一种隔振装置，其特征在于，包括：柔性支撑组件、柔性铰链组件、阻尼组件和立柱，所述柔性支撑组件和所述立柱均设置在安装部件上，其中，负载部件设置在所述柔性支撑组件的顶部，所述柔性支撑组件构造为具有Z向刚度并且能够沿X向和或Y向发生姿态变化；所述柔性铰链组件为支架结构，所述柔性铰链组件的部分与所述负载部件相连，部分与所述立柱相连，所述柔性铰链组件构造为能够在相互垂直的X向和Y向发生弹性形变；所述阻尼组件设置在所述立柱上，所述阻尼组件与所述负载部件相连，以消除所述负载部件在X向和或Y向的振动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 隔振装置及加工设备
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