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申请/专利权人：北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司

摘要：本申请本申请涉及热处理的技术领域，提供一种晶体毛坯退火用装置及退火工艺。其中，晶体毛坯退火用装置包括退火炉、夹持系统、气体管路系统和测温元件，夹持系统包括第一驱动源、上夹具和下夹具，上夹具和下夹具相对设置于退火炉内；气体管路系统包括进气管组、调流阀组和自动调节模块，进气管组包括多个第一进气管路和多个第二进气管路，各第一进气管路一端均穿设至上夹具内，各第二进气管路一端均穿设至下夹具内；调流阀组用于调节各个第一进气管路和各个第二进气管路内的气体流量。测温元件分布于上夹具和下夹具周侧，用于检测晶体毛坯不同特征位置的温度。本申请能够改善大尺寸晶体毛坯的退火效率和退火质量。

主权项：1.一种晶体毛坯退火用装置，其特征在于，包括：退火炉（1）；夹持系统（2），包括第一驱动源（21）、上夹具（22）和下夹具（23），所述上夹具（22）和下夹具（23）相对设置于所述退火炉（1）内，且所述上夹具（22）和所述下夹具（23）相对的端面上均设置有同质垫圈（5），所述第一驱动源（21）用于驱动所述上夹具（22）和所述下夹具（23）发生相对移动；气体管路系统（3），包括进气管组、调流阀组和自动调节模块（34），所述进气管组包括多个第一进气管路（31）和多个第二进气管路（32），各所述第一进气管路（31）一端均穿设至所述上夹具（22）内，且所述上夹具（22）上间隔设置有多组第一出气孔组，各组所述第一出气孔组内包括若干第一出气孔（221），所述第一出气孔组与所述第一进气管路（31）一一对应设置且相连通；各所述第二进气管路（32）一端均穿设至所述下夹具（23）内，且所述下夹具（23）上间隔设置有多组第二出气孔组，各组所述第二出气孔组内包括若干第二出气孔（231），所述第二出气孔组与所述第二进气管路（32）一一对应设置且相连通；所述调流阀组用于调节各个所述第一进气管路（31）和各个第二进气管路（32）内的气体流量，所述自动调节模块（34）与所述调流阀组电性连接；测温元件（4），所述测温元件（4）设置有多个，所述测温元件（4）分布于所述上夹具（22）和下夹具（23）周侧，用于检测晶体毛坯（10）不同特征位置的温度，所述测温元件（4）与所述自动调节模块（34）电性连接。

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