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申请/专利权人：江苏晶工半导体设备有限公司

摘要：本发明公开了一种半导体晶圆刷洗机的晶圆夹持机构，本发明涉及半导体制芯技术领域，包括盖板和底盘、多个用于夹持晶圆体的夹持机构以及离合机构，所述盖板和底盘之间设置有驱动机构，且盖板的下部中间位置处贯穿连接有主轴，所述底盘的圆心部分套设在主轴上，所述主轴的上端与盖板的上部齐平，且盖板的上部位于主轴的位置处设置有防水板。该半导体晶圆刷洗机的晶圆夹持机构，采用一种新型齿轮传动夹持机构，实现晶圆刷洗机对高速旋转的晶圆进行可靠而稳定的夹持，有效的降低了整个机构的复杂性，并可观的提高了整个夹持过程的稳定性。

主权项：1.一种半导体晶圆刷洗机的晶圆夹持机构，包括盖板（1）和底盘（2）、多个用于夹持晶圆体的夹持机构（5）以及离合机构（6），其特征在于：所述盖板（1）和底盘（2）之间设置有驱动机构（7），且盖板（1）的下部中间位置处贯穿连接有主轴（3），所述底盘（2）的圆心部分套设在主轴（3）上，所述主轴（3）的上端与盖板（1）的上部齐平，且盖板（1）的上部位于主轴（3）的位置处设置有防水板（4）；所述盖板（1）的一面呈环形矩阵的方式设置有若干个夹持安装孔（11），且盖板（1）的外缘部分设置为倒锥外圆（12），所述盖板（1）的一面呈环形矩阵方式设置有与夹持安装孔（11）数量相同的扇形凸台（13），扇形凸台（13）在环形矩阵的夹持安装孔（11）内部位置处，所述盖板（1）的一面靠近扇形凸台（13）的内侧位置处设置有相对孔（14）；所述夹持机构（5）由偏心轴（51）、执行齿轮（53）、齿轮连接销（54）和连接卡簧（55）组成，执行齿轮（53）与偏心轴（51）通过连接杆（52）同心设置，通过齿轮连接销（54）与连接卡簧（55）将偏心轴（51）与执行齿轮（53）设置于盖板（1）上的夹持安装孔（11）中；所述驱动机构（7）包括有驱动齿轮（71），驱动齿轮（71）的外缘处等距设置有若干个驱动齿部（72），所述驱动齿轮（71）的一面设置有与相对孔（14）相对应的齿轮限位孔（73），且驱动齿轮（71）的一面还设置有与各个扇形凸台（13）相对应的齿轮定位部（74），所述驱动齿轮（71）的一面通过固定杆螺纹孔（75）安装有齿轮固定杆（78），齿轮固定杆（78）的一端连接有拉簧（77），拉簧（77）远离齿轮固定杆（78）的一端连接有盖板固定杆（76），所述驱动机构（7）的一面还设置有与离合机构（6）相对应的齿轮离合孔（79）。

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