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申请/专利权人：中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局;许继电气股份有限公司;西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
摘要：本发明公开了一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法，包括如下步骤：在脉冲晶闸管阴极、门极处加工出厚度均匀的铝层；在铝层表面涂覆光刻胶膜后进行曝光显影，在铝层上形成具有预设形状的刻蚀窗口，刻蚀窗口位于门极与阴极之间的区域；使门极与阴极之间形成空间间隔区；去除剩余铝层表面的光刻胶膜，并在脉冲晶闸管表面再次涂覆光刻胶膜且曝光显影；采用干法刻蚀对门极刻蚀窗口内的铝层进行刻蚀；与现有技术相对比，本发明具有以下有益效果:通过本发明的脉冲晶闸管铝电极形成方法，既可以避免现有铝电极工艺中两次蒸铝造成的生产周期长、成本高的问题，又能解决门阴极高度差造成的钻蚀问题，提升脉冲晶闸管的didt性能和门‑阴极长期可靠性。
主权项：1.一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法，其特征在于，包括如下步骤：在脉冲晶闸管阴极、门极处加工出厚度均匀的铝层；在铝层表面涂覆光刻胶膜后进行曝光显影，在铝层上形成具有预设形状的刻蚀窗口，刻蚀窗口位于门极与阴极之间的区域；通过刻蚀窗口对铝层刻蚀，使门极与阴极之间形成空间间隔区；去除剩余铝层表面的光刻胶膜，并在脉冲晶闸管表面再次涂覆光刻胶膜且曝光显影，在门极所处位置形成门极刻蚀窗口；采用干法刻蚀对门极刻蚀窗口内的铝层进行刻蚀；用有机去胶液去除光刻胶膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局 许继电气股份有限公司 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 一种脉冲晶闸管铝金属电极的形成方法
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