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申请/专利权人：常州高凯电子有限公司;江苏高凯精密流体技术股份有限公司
摘要：本发明涉及流量测量、控制领域，具体涉及一种紧凑型全量程高精度流量控制器及流量测量、控制方法。控制器包括主控芯片、流体输送流路、控制阀和流量测量部件，控制阀和流量测量部件串联在流体输送流路上，流量测量部件包括配合使用的传感器和流阻结构，主控芯片分别连接传感器和控制阀；其中，传感器配置有不同量程的至少两个；和或流阻结构配置有不同流阻的至少两个，每个流阻结构安装于流体输送流路的一个流阻支流路，各个流阻支流路相互并联，且入口处设置有流阻切换阀，主控芯片还连接流阻切换阀。本发明可以精准测量流量，从而精准控制流量，满足对小流量工艺气体的高精度的要求，满足全量程高精度流量控制，结构紧凑。
主权项：1.一种紧凑型全量程高精度流量控制器，其特征在于，包括主控芯片（1）、流体输送流路（2）、控制阀（3）和流量测量部件，所述控制阀（3）和所述流量测量部件串联在所述流体输送流路（2）上，所述流量测量部件包括配合使用的传感器（4）和流阻结构（5），所述主控芯片（1）分别连接所述传感器（4）和所述控制阀（3）；其中，所述传感器（4）配置有不同量程的至少两个，在所述传感器（4）为压力式传感器（4a）的情况下，各个传感器（4）依次串联在所述流体输送流路（2）上，在所述传感器（4）为热式传感器（4b）的情况下，每个传感器（4）安装于所述流体输送流路（2）的一个传感器支流路（21），各个传感器支流路（21）相互并联，且入口处设置有传感器切换阀（6），所述主控芯片（1）还连接所述传感器切换阀（6）；和或所述流阻结构（5）配置有不同流阻的至少两个，每个流阻结构（5）安装于所述流体输送流路（2）的一个流阻支流路（22），各个流阻支流路（22）相互并联，且入口处设置有流阻切换阀（7），所述主控芯片（1）还连接所述流阻切换阀（7）。
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权利要求：
百度查询： 常州高凯电子有限公司 江苏高凯精密流体技术股份有限公司 紧凑型全量程高精度流量控制器及流量测量、控制方法
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