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申请/专利权人:广东先导微电子科技有限公司
摘要:本发明属于二氯二氧化钼产品领域,具体公开一种二氯二氧化钼产品的除杂方法。本发明通过三次热处理,且第二次热处理在氢气氛围下进行,整体上可以有效分离去除二氯二氧化钼产品中的杂质,特别是显著降低了该产品中的含钒杂质,显著提高二氯二氧化钼产品纯度,使得除杂后的二氯二氧化钼产品满足应用在芯片类产品的要求;本发明的方法操作简单,效率高,易于规模化生产。
主权项:1.一种二氯二氧化钼产品的除杂方法,其特征在于,包括如下步骤:1将二氯二氧化钼产品置于管状容器一端,在二氯二氧化钼产品一端通入惰性气体,进行第一次热处理,得到第一次热处理后的产品;2在所述第一次热处理后的产品一端通入氢气,进行第二次热处理,得到第二次热处理后的产品;3在所述第二次热处理后的产品一端通入惰性气体,进行第三次热处理,得到除杂后的二氯二氧化钼产品。
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权利要求:
百度查询: 广东先导微电子科技有限公司 一种二氯二氧化钼产品的除杂方法
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