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申请/专利权人：广东先导微电子科技有限公司
摘要：本发明属于二氯二氧化钼产品领域，具体公开一种二氯二氧化钼产品的除杂方法。本发明通过三次热处理，且第二次热处理在氢气氛围下进行，整体上可以有效分离去除二氯二氧化钼产品中的杂质，特别是显著降低了该产品中的含钒杂质，显著提高二氯二氧化钼产品纯度，使得除杂后的二氯二氧化钼产品满足应用在芯片类产品的要求；本发明的方法操作简单，效率高，易于规模化生产。
主权项：1.一种二氯二氧化钼产品的除杂方法，其特征在于，包括如下步骤：1将二氯二氧化钼产品置于管状容器一端，在二氯二氧化钼产品一端通入惰性气体，进行第一次热处理，得到第一次热处理后的产品；2在所述第一次热处理后的产品一端通入氢气，进行第二次热处理，得到第二次热处理后的产品；3在所述第二次热处理后的产品一端通入惰性气体，进行第三次热处理，得到除杂后的二氯二氧化钼产品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东先导微电子科技有限公司 一种二氯二氧化钼产品的除杂方法
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