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塑料容器的涂层技术 

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申请/专利权人:爱恩卡夫特有限责任公司

摘要:本发明涉及通过等离子体增强化学气相沉积PECVD进行塑料涂层的领域。通过本发明,特别是用于储存侵蚀性化学品的可回收再利用的塑料容器能够被涂覆稳定的迁移屏障。本发明公开了一种工艺和一种涂层。利用该工艺,可以由至少一种前体和反应气体的工艺气体混合物沉积涂层,该反应气体被激发形成等离子体。通过调整工艺气体混合物中的反应气体含量和改变与质量相关的激发能量,可以在塑料基板上沉积梯度涂层而产生化学抗性的迁移屏障。

主权项:1.一种用于在塑料基板100、特别是塑料容器上通过等离子体增强化学气相沉积PECVD制成涂层200的工艺,用于产生化学抗性的迁移屏障,其中,工艺气体混合物PGM被引入到反应空间302中并通过能量源350激发以形成等离子体352,所述工艺气体混合物PGM具有由一种或多种前体PG和或一种或多种反应气体RG制成的、可调节的成分,其特征在于,在所述基板100上沉积具有粘附区201、屏障区202和钝化区203的梯度涂层200'以及具有屏障区202和钝化区203的梯度涂层200”,其中所述梯度涂层200',200”的沉积通过改变所述工艺气体混合物PGM中的反应气体含量C和改变所述等离子体的与质量相关的激发能量E来控制。

全文数据:

权利要求:

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