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申请/专利权人：深圳市亿优威光科技有限公司
摘要：本发明公开了一种用于极紫外光刻机的反射镜及极紫外光线收集方法，所述反射镜包括：底座，所述底座上设有阵列分布的安装孔；若干个多层膜镜片，所述多层膜镜片可拆卸安装在所述安装孔内；所述底座上沿所述安装孔的周边还间隔设置有多个出气口，所述出气口被配置为当氢气从所述出气口吹出时在所述多层膜镜片前形成锥台状的保护气层。与现有技术相比，本发明方案使用阵列可拆卸安装的多层膜镜片反射极紫外光线，只需要对损坏或者反射率低的单个多层膜镜片进行更换，更换成本低；并且向每个多层膜镜片的前方吹入氢气，形成锥台状保护气层，可以有效防止多层膜镜片被污染，延长多层膜镜片的使用寿命。
主权项：1.用于极紫外光刻机的反射镜，其特征在于，包括：底座，所述底座上设有阵列分布的安装孔；若干个多层膜镜片，所述多层膜镜片可拆卸安装在所述安装孔内；所述底座上沿所述安装孔的周边还间隔设置有多个出气口，所述出气口被配置为当氢气从所述出气口朝安装孔的轴线倾斜方向吹出时在所述多层膜镜片前形成锥台状的保护气层；当反射镜的形状为圆柱状时，所述锥台状为圆锥台状；当反射镜的形状为三棱柱状时，所述锥台状为三角锥台状。
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权利要求：
百度查询： 深圳市亿优威光科技有限公司 用于极紫外光刻机的反射镜及极紫外光线收集方法
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