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申请/专利权人：安徽越好电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种卧式真空镀膜系统，包括依次排布的：进出料腔，具有供待镀膜工件进出所述卧式真空镀膜系统的进出料口；工艺腔，用于对所述待镀膜工件进行磁控溅射镀膜；加热腔，用于在镀膜前对所述待镀膜工件进行加热；传送组件，用于传送所述待镀膜工件进出入各腔室；阴极室，用于安装靶材，其设置于所述工艺腔内并位于所述传送组件的下方。本申请的卧式真空镀膜系统，不仅有利于保持加热腔内的高洁净度，进一步保证镀膜效果，且仅需布置一道十级室的进出料室，极大降低了设备成本，也减少了设备占用面积。
主权项：1.卧式真空镀膜系统，其特征在于，包括依次排布的：进出料腔，具有供待镀膜工件进出所述卧式真空镀膜系统的进出料口；工艺腔，用于对所述待镀膜工件进行磁控溅射镀膜；加热腔，用于在镀膜前对所述待镀膜工件进行加热；传送组件，用于传送所述待镀膜工件进出入各腔室；阴极室，用于安装靶材，其设置于所述工艺腔内并位于所述传送组件的下方；在整个镀膜系统中，所述进出料口为待镀膜工件进出镀膜系统的唯一通道；所述进出料腔、所述工艺腔和所述加热腔依次密封衔接；所述传送组件包括固定待镀膜工件的基板架以及用于驱动所述基板架的驱动轮，所述工艺腔内设置有与基板架间隔形成镀膜室的沉降板以及用于封堵所述镀膜室的两侧，阻挡靶材离子逸散至所述驱动轮的阻挡件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽越好电子装备有限公司 卧式真空镀膜系统及其镀膜方法
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