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申请/专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司

摘要：本申请涉及光刻胶水滴角检测技术领域，具体涉及基于特征提取的增粘单元水滴角检测方法，该方法包括：提取增粘图像中的光刻胶区域，确定光刻胶区域各边界像素点的水滴角评估系数；构建各光刻胶区域的区域水滴角判定序列；基于各光刻胶区域的区域水滴角判定序列内的元素分布情况确定各光刻胶区域的深度均极偏差比；计算各光刻胶区域的对照差异；基于所述对照差异及所述区域水滴角判定序列的均值确定各光刻胶区域的区域扰动紊乱系数，以改进异常检测算法的K值，基于改进的异常检测算法剔除噪声数据，对水滴角进行检测。从而提高增粘单元中光刻胶与晶圆衬底覆膜的光刻胶的检测精度，提高水滴角检测准确性，避免错检误检的情况。

主权项：1.基于特征提取的增粘单元水滴角检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：采集增粘单元中晶圆光刻胶涂覆图像，记为增粘图像，通过图像分割算法提取各采集时刻的增粘图像中的光刻胶区域；提取增粘图像的深度估计图，其中，深度估计图中灰度值代表像素点的深度估计值；对深度估计图中各光刻胶区域内所有像素点进行曲面拟合，基于深度估计图中各光刻胶区域的拟合曲面上各边界像素点的拟合值在横坐标及纵坐标的偏导数，确定所述各边界像素点的水滴角评估系数；基于各光刻胶区域内中心像素点在拟合曲面上的梯度的模值，结合各光刻胶区域内各边界像素点的水滴角评估系数，构建各光刻胶区域的区域水滴角判定序列；基于各光刻胶区域的区域水滴角判定序列内的元素分布情况确定各光刻胶区域的深度均极偏差比；构建各光刻胶区域的对照区域；基于各光刻胶区域与其各个对照区域的深度均极偏差比之间的差异以及区域水滴角判定序列之间的差异确定各光刻胶区域的对照差异；基于所述对照差异及所述区域水滴角判定序列的均值确定各光刻胶区域的区域扰动紊乱系数；基于所述区域扰动紊乱系数改进LOF异常检测算法的K值，基于改进的LOF异常检测算法对水滴角进行检测；所述改进LOF异常检测算法的K值的获取包括：计算各光刻胶区域的区域扰动紊乱系数与分母调节因子的和值，获取所述和值的倒数与预设调节因子的最大值，将所述最大值作为LOF异常检测时各光刻胶区域的自适应K值；所述深度均极偏差比的确定方法为：对于每一个光刻胶区域的区域水滴角判定序列，计算区域水滴角判定序列的均值，计算区域水滴角判定序列内各元素与所述均值的差值的绝对值，将区域水滴角判定序列内所有元素的所述绝对值进行累加；获取区域水滴角判定序列中最小值与最大值的差值，将所述差值作为以自然常数为底数的指数函数的指数；将所述累加的结果与所述指数函数的计算结果的比值作为对应光刻胶区域的深度均极偏差比；所述构建各光刻胶区域的对照区域包括：以任一光刻胶区域的中心像素点为中心，获取预设边长的方形窗口，将与方形窗口相交以及方形窗口内的所有光刻胶区域作为所述任一光刻胶区域的对照区域；所述各光刻胶区域的对照差异的确定方法为：计算各光刻胶区域与其对照区域的深度均极偏差比之间差值的绝对值，记为第一绝对值；计算各光刻胶区域与其对照区域的区域水滴角判定序列的标准差之间差值的绝对值，作为以自然常数为底数的指数函数的指数；计算所述第一绝对值与所述指数函数的计算结果的比值，将各光刻胶区域与其所有对照区域计算得到的所述比值的均值，作为各光刻胶区域的对照差异；所述区域扰动紊乱系数对应的计算公式为： ；式中，表示第m个光刻胶区域的区域扰动紊乱系数，log2表示以2为底的对数函数，Gm表示第m个光刻胶区域的区域水滴角判定序列，E表示均值，Am表示第m个光刻胶区域的对照差异。

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