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使用反向电子束电流的具有自清洁提取器的冷场发射器电子枪 

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申请/专利权人:科磊股份有限公司

摘要:一种电子束装置包含用于发射电子的冷场发射源及相对于所述冷场发射源正偏置以从所述冷场发射源中提取所述电子的提取器电极。所述提取器电极具有用于所述电子的第一开口。所述电子束装置还包含具有用于所述电子的第二开口的镜电极。所述镜电极能够配置为在第一操作期间相对于所述提取器电极正偏置且在第二操作模式期间相对于所述提取器电极负偏置。所述提取器电极安置于所述冷场发射源与所述镜电极之间。所述电子束装置进一步包含相对于所述提取器电极及冷场发射源正偏置的阳极。所述镜电极安置于所述提取器电极与所述阳极之间。

主权项:1.一种电子束装置,其包括:冷场发射源,其用于发射电子;提取器电极,其相对于所述冷场发射源正偏置以从所述冷场发射源提取所述电子,所述提取器电极具有用于所述电子的第一开口;镜电极,其具有用于所述电子的第二开口且能够经配置为在第一操作模式期间相对于所述提取器电极正偏置且在第二操作模式期间相对于所述提取器电极负偏置,其中所述提取器电极安置于所述冷场发射源与所述镜电极之间;及阳极,其相对于所述提取器电极及所述冷场发射源正偏置,其中所述镜电极安置于所述提取器电极与所述阳极之间。

全文数据:

权利要求:

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