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固体摄像元件和电子设备 

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申请/专利权人:索尼半导体解决方案公司

摘要:根据本发明的一个实施例的固体摄像元件包括:半导体基板,其针对每个像素具有光电转换部;像素晶体管,其设置在半导体基板的一个表面上;和元件分离部,其设置在半导体基板上,包括具有不同构造的第一元件分离部和第二元件分离部,并且限定像素晶体管的活性区域。第二元件分离部在侧面上具有沿第二元件分离部的深度方向杂质浓度不同的第一半导体区域和第二半导体区域。

主权项:1.一种固体摄像元件,其包括:半导体基板,所述半导体基板针对每个像素包括光电转换部;像素晶体管,所述像素晶体管设置在所述半导体基板的一个表面上;和元件分离部,所述元件分离部设置在所述半导体基板中,并且包括具有互不相同的构造的第一元件分离部和第二元件分离部,所述元件分离部限定所述像素晶体管的活性区域,所述第二元件分离部在侧面上具有沿所述第二元件分离部的深度方向杂质浓度互不相同的第一半导体区域和第二半导体区域,其中,所述第一元件分离部的杂质浓度高于所述第一半导体区域的杂质浓度,且低于所述第二半导体区域的杂质浓度。

全文数据:

权利要求:

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