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申请/专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
摘要：本申请提供了一种上下料机构及加工设备，用于将载具输送至一腔体内，上下料机构包括机架、传送组件和过渡组件，机架被配置为与腔体对接；传送组件设置于机架，且用于向腔体方向运输载具，传送组件与腔体之间具有过渡区域；过渡组件包括驱动件和运输件，驱动件相对于机架固定设置，驱动件连接运输件，且被配置为驱动运输件移动至过渡区域，并承接传送组件传送至过渡区域的载具，以使载具进入腔体内。
主权项：1.一种上下料机构，用于将载具输送至一腔体内，其特征在于，所述上下料机构包括：机架，被配置为与所述腔体对接；传送组件，设置于所述机架，且用于向所述腔体方向运输所述载具，所述传送组件与所述腔体之间具有过渡区域；和过渡组件，包括驱动件和运输件，所述驱动件相对于所述机架固定设置，所述驱动件连接所述运输件，且被配置为驱动所述运输件移动至所述过渡区域，并承接所述传送组件传送至所述过渡区域的所述载具，以使所述载具进入所述腔体内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 上下料机构及加工设备
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