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申请/专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体厂回收废硫酸制备电子级高纯硫酸的生产系统，所述生产系统包括废硫酸储罐，所述废硫酸储罐通过管道与高温裂解炉、余热回收锅炉、第一气液分离器、静电除雾器和气体反应装置依次连通，气体反应装置还通过管道与臭氧发生器连通，气体反应装置通过管道与废硫酸吸收槽、发烟酸蒸发器和液体SO3储罐依次连通，所述液体SO3储罐通过管道与气质蒸发器、第二气液分离器、吸收塔、成品储罐、过滤器组和充填机台依次连通。本实用新型在于废硫酸高效利用、原料SO2纯化、成品硫酸低温稳态过滤，通过本实用新型制得高纯电子级硫酸含量为96‑97%，金属离子含量低于0.005ppb，总杂质含量控制在10μgg以内。
主权项：1.一种半导体厂回收废硫酸高效制备高纯电子级硫酸的生产系统，其特征在于，所述生产系统包括废硫酸储罐（1），所述废硫酸储罐（1）通过管道与高温裂解炉（2）、余热回收锅炉（3）、第一气液分离器（4）、静电除雾器（5）和气体反应装置（6）依次连通，气体反应装置（6）还通过管道与臭氧发生器（7）连通，气体反应装置（6）通过管道与废硫酸吸收槽（8）、发烟酸蒸发器（9）和液体SO3储罐（10）依次连通，所述液体SO3储罐（10）通过管道与气质蒸发器（11）、第二气液分离器（12）、吸收塔（13）、成品储罐（14）、过滤器组（15）和充填机台（16）依次连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种半导体厂回收废硫酸高效制备高纯电子级硫酸的生产系统
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