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一种用于生产集成电路的蚀刻设备 

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申请/专利权人:浙江温芯微电子有限公司

摘要:本实用新型公开了一种用于生产集成电路的蚀刻设备,涉及电路板加工技术领域。该用于生产集成电路的蚀刻设备,包括加工平台、驱动电机和按压板,加工平台的顶部转动安装有转动环,转动环的顶部固定安装有旋转平台,旋转平台的顶部固定安装有放置板;加工平台的底部固定安装有驱动电机。该用于生产集成电路的蚀刻设备,通过驱动电机的设置能够将旋转平台进行旋转,当旋转平台旋转时能够将两组放置板进行旋转,进而能够将两组放置板进行换位处理,当其中一组放置板内部的电路板在加工时,能够对另一组放置板进行上下料处理,进而能够充分的利用电路板加工的时间,提高电路板加工的效率,增加装置的实用性。

主权项:1.一种用于生产集成电路的蚀刻设备,其特征在于,包括:加工平台1,加工平台1的顶部转动安装有转动环2,转动环2的顶部固定安装有旋转平台3,旋转平台3的顶部固定安装有放置板19;驱动电机5,加工平台1的底部固定安装有驱动电机5,驱动电机5用于驱使蚀刻机13进行旋转;按压板18,按压板18的数量为两组,两组按压板18用于将电路板进行固定。

全文数据:

权利要求:

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