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申请/专利权人：宁波市丹科真空科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种圆柱磁控溅射靶中可拆卸的隔离磁场装置，涉及镀膜机技术领域。包括靶材连接装置，靶材连接装置的内部设置有磁场装置，靶材连接装置的顶部设置有配合机构；磁场装置包括磁芯，磁芯两端分别焊接有上封板和下封板，磁芯的外侧安装有磁铁一和磁铁二，上封板和下封板的外圈分别设置有磁铁密封圈一和磁铁密封圈二。使用过程中，磁铁一和磁铁二都不与水直接接触，不会被冷却水腐蚀、损坏，不需要经常更换，降低成本，水道也不会堵塞，使用性能更稳定，维护周期更长，节约时间，提高工作效率，磁场装置如果出现问题时，可以将装置的各组成部件进行拆装，找出原因后，只需要更换有问题的部件即可，降低维修成本。
主权项：1.一种圆柱磁控溅射靶中可拆卸的隔离磁场装置，包括靶材连接装置1，其特征在于：所述靶材连接装置1的内部设置有磁场装置2，所述靶材连接装置1的顶部设置有配合机构3；所述磁场装置2包括磁芯28，所述磁芯28两端分别焊接有上封板21和下封板212，所述磁芯28的外侧安装有磁铁一210和磁铁二213，所述上封板21和下封板212的外圈分别设置有磁铁密封圈一24和磁铁密封圈二211，所述上封板21和下封板212的外圈共同套设有内壁与磁铁密封圈一24和磁铁密封圈二211外圈相贴合的隔水管29，实现对所述磁铁一210和磁铁二213的密封。
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权利要求：
百度查询： 宁波市丹科真空科技有限公司 一种圆柱磁控溅射靶中可拆卸的隔离磁场装置
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