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申请/专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要：本申请公开了一种用于真空互联系统的超高真空样品托，包括：样品托主体，包括用于承载样品的载样面；至少两个凸台，呈环形分布布置在所述载样面上，所述至少两个凸台之间围设形成用于放置样品的载样空间；弹性片，一端固定在所述凸台上，另一端沿指向所述载样空间的方向延伸设置，所述弹性片用于压紧固定样品。本申请通过在样品托主体上布置环形分布的凸台，在凸台上安装弹性片，能够实现样品的快速固定，有效降低了制样操作的复杂性，并降低了成本；可采用耐高温材质制备，能够兼容高温加热的工艺或测试；可在凸台外部设置外围段，外围段的厚度可逐渐减少，有效降低外圈厚度，方便传样操作，增加兼容性。
主权项：1.一种用于真空互联系统的超高真空样品托，其特征在于，包括：样品托主体，包括用于承载样品的载样面；至少两个凸台，呈环形分布布置在所述载样面上，所述至少两个凸台之间围设形成用于放置样品的载样空间；弹性片，一端固定在所述凸台上，另一端沿指向所述载样空间的方向延伸设置，所述弹性片用于压紧固定样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 用于真空互联系统的超高真空样品托
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