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申请/专利权人：长沙安思新能源科技有限公司
摘要：本发明涉及含硅烷尾气的回收利用领域，具体涉及半导体或光伏行业含硅烷尾气的回收系统。本发明提供半导体或光伏行业含硅烷尾气的回收系统，所述回收系统包括依次设置的原料气压缩机模块、膜分离组件模块、监测模块和混合模块。本发明将针对含硅烷的尾气中的硅烷及其他成分的混合气回收回来继续使用，不仅能够降低生产成本，还能够解决环保隐患。
主权项：1.半导体或光伏行业含硅烷尾气的回收系统，其特征在于，所述回收系统包括依次设置的原料气压缩机模块、膜分离组件模块、监测模块和混合模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长沙安思新能源科技有限公司 半导体或光伏行业含硅烷尾气的回收系统
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