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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
摘要：本发明公开了一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法，所述测量装置包括：主管道、真空发生系统、充气控制系统、高次谐波过滤系统、真空封闭系统。本发明可以通过改变充入气体种类和压强，在较短空间内对不同波长的真空紫外光进行可调谐的能量衰减，且真空紫外光在通过高次谐波过滤系统时，将高次谐波完全滤除。由于本发明内部为封闭空间，可以充入较大压强的气体，实现较强的衰减能力和宽范围的精确调节能力。
主权项：1.一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置，其特征在于，所述装置包括：主管道、高次谐波过滤系统、真空发生系统、充气控制系统和真空封闭系统；所述主管道内具有真空腔11，所述真空腔11的壁上设有法兰接口，通过法兰接口安装有真空测量组件12、真空发生系统、充气控制系统和观察装置13；真空测量组件12、真空发生系统、充气控制系统三者结合可以实现对装置内气压的精确控制，观察装置13可以在需要时观察主管道光的状态；在真空腔11两端设有法兰接口，通过法兰接口安装高次谐波过滤系统；所述高次谐波过滤系统，过滤掉真空紫外光中的高次谐波，对光的能量有一定的衰减作用，将主管道两端封闭，保证管内气体压强稳定；所述真空发生系统，使得主管道及相连管道达到需要的真空度；所述充气控制系统，控制充入气体的流速，以确保管内气体压力的精确控制；所述真空封闭系统，将该段装置与两端管道真空隔离，防止更换装备或充气对两端真空造成影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院大连化学物理研究所 一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法
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