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申请/专利权人：上海邦芯半导体科技有限公司
摘要：本说明书实施例提供一种热台自动调节水平装置，包括：反应腔，反应腔内放置有热台，反应腔顶部开设有供通入反应气体的进气口；调节机构，调节机构用于对热台的水平度和或位置高度进行调节；光学探测器，光学探测器设置于进气口正上方；控制器，控制器根据光学探测器发出的信号控制调节机构对热台的水平度进行调节。通过在进气口的正上方设置发射接收一体式光学探测器，光学探测器的中心位置发射第一光束到达热台上表面，热台对第一光束反射形成第二光束，当热台水平时，第二光束到达光学探测器中心位置，当热台不水平时，第二光束到达光学探测器边缘区域，控制器根据光学探测器发出的信号控制调节机构对热台的水平度进行调节。
主权项：1.一种热台自动调节水平装置，其特征在于，包括：反应腔，所述反应腔内放置有热台，所述反应腔顶部开设有供通入反应气体的进气口；调节机构，所述调节机构用于对所述热台的水平度和或位置高度进行调节；光学探测器，所述光学探测器设置于所述进气口正上方，所述光学探测器为发射接收一体式光学探测器，所述光学探测器的中心位置发射第一光束穿过所述进气口达到所述热台上表面，所述光学探测器根据接收到的所述热台反射所述第一光束形成的第二光束位置发出不同的信号，其中，所述热台水平时，所述第二光束到达所述光学探测器中心位置，所述热台不水平时，所述第二光束到达所述光学探测器边缘区域；控制器，所述控制器至少耦接光学探测器，所述控制器根据所述光学探测器发出的信号控制所述调节机构对所述热台的水平度进行调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海邦芯半导体科技有限公司 一种热台自动调节水平装置
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