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申请/专利权人：中国科学技术大学
摘要：本发明公开了一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源，涉及特种光源技术领域。本发明利用高功率激光烧蚀高原子序数的靶材料产生极紫外波段的连续谱发光，经收集镜收集后穿过中性气体或电离气体产生单色性非常好的多波长吸收谱线，用于极紫外波段仪器设备的光谱定标，可以在10～120nm波段产生线谱单色性达到6×10‑5的、多个波长的高亮度台式化光源。本发明通过调整激光功率在mW甚至100W范围内调节，这种各向同性发射的点状非相干光源可以很容易扩束到数十厘米口径，满足各种设备和仪器的光谱定标要求。
主权项：1.一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源，其特征在于：包括建立高功率激光a（1）与靶目标位置（7）之间形成光束路径的光学元件；朝向所述靶目标位置（7）连续释放所述高功率激光a（1），驱动所述靶目标位置（7）上的高原子序数固体靶产生极紫外波段的连续谱发光；产生极紫外波段的所述连续谱发光被近掠入射的第一收集镜（8）和第二收集镜（12）收集；其中，用于光谱定标的一路光束通过所述第一收集镜（8）聚焦在一具有产生吸收谱线的气体所在的第一腔体通道中，穿过所述气体的第一腔体通道后的具有吸收谱线的光束通过一近掠入射的第三收集镜（10）收集至出光口（11）；其中，另一路光束通过所述第二收集镜（12）收集的光经过第二腔体通道中一光栅（13）分光后进入用于记录光谱的探测器（14）；位于所述高功率激光a（1）进入所述靶目标位置（7）至出光口（11）的光束路径和至探测器（14）的光束路径均建立具有真空系统（15）的腔室空间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学技术大学 一种基于吸收谱线的多波长极紫外台式化光源
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