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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司
摘要：本发明涉及晶圆片清洗设备技术领域，尤其涉及一种晶圆片全自动清洗设备；包括清洗装置、转运机构、收料翻转机构、烘干机构及挡板组件；清洗装置的数量为多个，挡板组件位于相邻两个清洗装置之间，挡板组件位于烘干机构和清洗装置之间；清洗装置包括药剂清洗箱和水洗清洗箱；药剂清洗箱包括第一箱体、第二箱体、进液组件及温控组件，第一箱体设有第一容腔，第二箱体与第一箱体连接并围设成第二容腔，第一箱体位于第二容腔内；进液组件设于第一箱体并伸入第一容腔内；所述温控组件包括加热件，加热件将第一容腔和第二容腔连通；加热件连通第一容腔和第二容腔，实现对第一容腔内药液的加温目的，满足清洗的最佳温度条件，提高生产质量的稳定性。
主权项：1.一种晶圆片全自动清洗设备，其特征在于：包括清洗装置1、转运机构2、收料翻转机构3、烘干机构4及挡板组件5；所述清洗装置1的数量为多个，所述挡板组件5位于相邻两个清洗装置1之间，所述挡板组件5位于烘干机构4和清洗装置1之间；每个所述清洗装置1均包括药剂清洗箱11和水洗清洗箱12；所述药剂清洗箱11包括第一箱体111、第二箱体112、进液组件113及温控组件，所述第一箱体111设有第一容腔1101，所述第二箱体112与所述第一箱体111连接并围设成第二容腔1102，所述第一箱体111位于第二容腔1102内；所述进液组件113设于第一箱体111并伸入第一容腔1101内；所述温控组件包括加热件1141，所述加热件1141位于第一箱体111外，所述加热件1141将第一容腔1101和第二容腔1102连通；所述转运机构2用于承接外界料箱100并依次送入多个清洗装置1后再送至收料翻转机构3，所述收料翻转机构3将外界料箱100转运至烘干机构4。
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权利要求：
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