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申请/专利权人：深圳谱晶科技有限公司
摘要：本发明涉及退火装置技术领域，具体的说是一种链式RTP退火设备，包括退火炉本体、输送结构、散热结构、密封结构、抽风结构、过滤结构和固定结构，在工件退火结束后使密封结构不对退火炉本体进行密封，接着可以通过启动抽风结构，在抽风结构的作用下退火炉内部的空气会流向过滤结构，在空气流经过滤结构的过程中能够通过过滤结构对空气中的烟尘进行过滤去除，从而能够避免烟尘飘散到空气中而对环境造成污染，从而有效的提高了使用的环保性，当退火完成后能够通过输送结构将工件从退火炉本体的内部输送出来，当工件输送出来后能够通过散热结构实现对工件的快速冷却，从而缩短了工件冷却的时间，提高了生产的效率。
主权项：1.一种链式RTP退火设备，其特征在于，包括：退火炉本体（1）；密封结构（4），所述退火炉本体（1）上设有密封结构（4）；过滤结构（6），所述退火炉本体（1）上设有过滤结构（6），所述过滤结构（6）包括连接框（602）和凸块（603），所述退火炉本体（1）上卡合有连接框（602），所述连接框（602）的顶端抵触有压板（601），所述压板（601）与退火炉本体（1）之间卡合，所述连接框（602）上卡合有两个外框（604）.所述外框（604）上固定连接有过滤网（605），所述连接框（602）上固定连接有多个放置板（606），所述放置板（606）上放置有多个活性炭蜂窝块（607）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳谱晶科技有限公司 一种链式RTP退火设备及退火方法
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