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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社;国立大学法人名古屋工业大学
摘要：一种氧化铝陶瓷部件，含有平均粒径100μm以下的氧化铝多晶体，所述氧化铝多晶体的晶界中，氧化物的结晶状态、石榴子石结构的结晶状态和非结晶状态以外的状态的钇被掺杂。
主权项：1.一种氧化铝陶瓷部件，含有平均粒径100μm以下的氧化铝多晶体，所述氧化铝多晶体的晶界中，氧化物的结晶状态、石榴子石结构的结晶状态和非结晶状态以外的状态的钇被掺杂。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 国立大学法人名古屋工业大学 氧化铝陶瓷部件、氧化铝陶瓷部件的制造方法、半导体制造装置用部件和基板处理装置
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